Media type: E-Book Title: Plasma- und festkörperphysikalische Optimierung eines Beschichtungsverfahrens für monolithische UMo-Kernbrennstoffe Other titles: Plasma and Solid-State Physics-Based Optimization of a Coating Process for Monolithic UMo Nuclear Fuels Contributor: Steyer, Christian [Author]; Petry, Winfried [Degree supervisor]; Petry, Winfried [Other]; Böni, Peter [Other] Published: München: Universitätsbibliothek der TU München, 2019 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: PECVD-Verfahren ; Magnetronsputtern ; Verschleißschutz ; Prozessoptimierung ; Dünne Schicht ; PVD-Verfahren ; Therapie ; Plasma ; Beschichten ; PHY Physik ; WER Werkstoffwissenschaften Origination: University thesis: Dissertation, München, Technische Universität München, 2019 Footnote: Access State: Open Access