Media type: E-Book Title: Multiphysikalischer Entwurf hybrid-integrierter MEMS-Oszillatoren auf Silizium-LTCC-Substraten Contributor: Stegner, Johannes [Author]; Hein, Matthias [Degree supervisor]; Müller, Jens [Other]; Fischer, Georg [Other] Published: Ilmenau: TU Ilmenau, 2020 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Oszillatorschaltung ; MEMS ; Substrat ; Resonator ; LTCC ; Silicium Origination: University thesis: Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2020 Footnote: Access State: Open Access