Media type: E-Book; Thesis Title: Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung Contributor: Kühn, Michael [Verfasser] imprint: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz, 1997 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Titan > Chrom > Zirkonium > Metalldampf > Vakuumlichtbogen > Plasmadiagnostik Origination: University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 1997 Footnote: Access State: Open Access