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Haubold, Marco [Author] ; Geßner, Thomas [Degree supervisor]; Geßner, Thomas [Other]; Hochmair, Erwin [Other]

Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses

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  • Media type: E-Book; Thesis
  • Title: Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
  • Contributor: Haubold, Marco [Author]; Geßner, Thomas [Degree supervisor]; Geßner, Thomas [Other]; Hochmair, Erwin [Other]
  • Published: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2016
  • Extent: Online-Ressource
  • Language: German
  • Identifier:
  • Keywords: Vibrationssensor > Fertigung > Wafer > Silicium > Mikroschweißen
  • Origination:
  • University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2016
  • Footnote:
  • Access State: Open Access