Media type: E-Book Title: Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen : Prozesscharakterisierung und Schichteigenschaften Contributor: Günther, Marcus [Verfasser]; Richter, Frank [Akademischer Betreuer]; Richter, Frank [Gutachter]; Möller, Wolfhard [Gutachter] imprint: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz, 2012 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Diamantähnlicher Kohlenstoff ; Fullerene ; Wasserstoff ; Magnetronsputtern ; Dünne Schicht ; Plasmaabscheidung ; Atomemissionsspektroskopie ; ECR-Beschichten ; Mittelfrequenz ; PECVD ; amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten ; optische Emissionsspektroskopie ; asymmetrisch bipolar gepulste Spannung ; Mittelfrequenz-Anregung ; Elektron-Zyklotron-Resonanz ; thermische Analyse ; mechanische Eigenschaften ; elastische Rückstreudetektionsanalyse ; Wasserstoffanteil ; plasma enhanced chemical vapor deposition ; amorphous hydrogenated carbon layers ; optical emission spectroscopy ; asymmetric bipolar pulsed voltage ; ECR deposition Origination: University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2012 Footnote: Access State: Open Access