Media type: E-Book; Thesis Title: Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen Contributor: Forke, Roman [Verfasser]; Mehner, Jan [Akademischer Betreuer]; Mehner, Jan [Gutachter]; Hoffmann, Martin [Gutachter] imprint: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2013 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Vibrationssensor > Resonator > Masse-Feder-System > Aktor > Array > MEMS > Maschinenschwingung > Niederfrequenz > Zustandsüberwachung Origination: University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2012 Footnote: Access State: Open Access