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Media type:
E-Book
Title:
Monokristalline NEMS-Sensoren mit feldeffektbasierter Signaltransduktion
:
Entwurf und Herstellung sensitiver Bauelemente auf Basis monokristallinen Siliziums für nano- und opto-elektromechanische Sensoranwendungen
Other titles:
Monocrystalline NEMS sensors with field-effect-based signal transduction - design and fabrication of sensitive devices on monocrystalline silicon for use in nano- and opto-electromechanical sensor applications