• Media type: E-Book
  • Title: Monokristalline NEMS-Sensoren mit feldeffektbasierter Signaltransduktion : Entwurf und Herstellung sensitiver Bauelemente auf Basis monokristallinen Siliziums für nano- und opto-elektromechanische Sensoranwendungen
  • Other titles: Monocrystalline NEMS sensors with field-effect-based signal transduction - design and fabrication of sensitive devices on monocrystalline silicon for use in nano- and opto-electromechanical sensor applications
  • Contributor: Scholz, Stefan [Author]; Knoch, Joachim [Degree supervisor]; Witzens, Jeremy [Degree supervisor]
  • Published: Aachen: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2019
  • Extent: Online-Ressource
  • Language: German
  • DOI: 10.18154/RWTH-2020-01646
  • Identifier:
  • Keywords: Sensor ; Ätzen ; Maske ; Nanoelektromechanik ; Metallisieren ; Kapazitätsmessung
  • Origination:
  • University thesis: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2019
  • Footnote:
  • Access State: Open Access