Media type: E-Book Title: Mikromechanische Drehratensensoren: Simulation mechanischer Nichtlinearitäten sowie des Einflusses der Aufbau- und Verbindungstechnik Contributor: Dorwarth, Markus [Verfasser]; Mehner, Jan [Gutachter]; Mehner, Jan [Akademischer Betreuer]; Schrag, Gabriele [Gutachter]; Schmidt, Benjamin [Akademischer Betreuer] imprint: Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2020 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: MEMS ; Drehratensensor ; Verbindungstechnik ; Ordnungsreduktion ; Simulation ; Sensor ; Nichtlineares Phänomen ; Belastung <Mechanik> ; MEMS-Drehratensensor ; Nichtlinearität ; TPWL ; AVT-Stress ; Die-attach-Simulation ; MEMS yaw-rate sensor ; nonlinearity ; packaging stress ; die attach simulation Origination: University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2020 Footnote: Access State: Open Access