Media type: E-Book Title: Neuartiger CMOS-kompatibler nanostrukturierter Vakuumsensor Contributor: Giebel, Friederike [Author]; Fiedler, Horst [Degree supervisor]; Vogt, Holger [Other] Published: Dortmund: Universitätsbibliothek Dortmund, 2020 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: MEMS ; Adsorption ; Sensorik, Elektronik ; Sensorik ; Vakuumelektronik ; Gaselektronik ; Nanotechnologie ; Ladungsträgerbeweglichkeit ; Wasserstoffversprödung Origination: University thesis: Dissertation, Dortmund, Technische Universität, 2020 Footnote: Access State: Open Access