Media type: E-Book Title: Mikromechanischer Prozess zur Herstellung mehrlagiger 3D-MEMS (EPyC-Prozess) Contributor: Louriki, Latifa [Author]; Otto, Thomas [Degree supervisor]; Otto, Thomas [Other]; Tillack, Bernd [Other] Published: Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2021 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Opferschicht ; MEMS ; Mikromechanik ; Epitaxie ; Mikrosystemtechnik ; 3D MEMS ; EPyC Prozess ; Silizium Halbleitertechnologie ; MEMS Prozess ; Silizium Opferschichttechnik ; Siliziumoxid Opferschichttechnik ; Trockenätzen ; PECVD ; LPCVD ; Laservibrometer ; SF6/XF2 ; DRIE-Prozess Origination: University thesis: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2021 Footnote: Access State: Open Access