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Schwarz, Markus [Author]

Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections

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  • Media type: E-Book
  • Title: Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections
  • Contributor: Schwarz, Markus [Verfasser]
  • imprint: Saarbrücken: Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek, 2021
  • Extent: Online-Ressource
  • Language: German
  • DOI: 10.22028/D291-34216
  • Identifier:
  • Keywords: SOI-Technik ; Schalter ; Array ; Wafer ; Mikroschaltung ; MEMS ; Mikroschalter ; SOI-Technology ; microswitch
  • Origination:
  • University thesis: Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2021
  • Footnote:
  • Access State: Open Access