University thesis:
Dissertation, Universität Freiburg, 2021
Footnote:
Description:
Abstract: Metal-assisted chemical etching of silicon (MACE) presents itself as an important step in the history of the development of micro- and nanostructuring. Combining the simplicity and cost-effectiveness of wet chemical bath etching with the spatial control and high aspect ratios of deep reactive ion etching would be the Holy Grail for MACE research. This thesis introduces several key advances on the road towards this goal. It specifically highlights some of the interactions between different metals, their precursors and oxidising agents. A clearer understanding of the connection between combinations of materials and the resulting structures was possible after a series of careful experimental investigations
Abstract: Metall-assisiertes chemisches Ätzen von Silizium (MACE) präsentiert sich als ein wichtiger Schritt in der Entwicklungsgeschichte der Mikro- und Nanostrukturierung. Eine Kombination aus Einfachheit und Kosteneffizienz des nasschemischen Badätzens mit der räumlichen Steuerung und hohen Aspektverhältnissen des reaktiven Ionentiefenätzens der Heilige Gral für die MACE-Forschung. In dieser Arbeit werden einige wichtige Fortschritte auf dem Weg zu diesem Ziel vorgestellt. Dabei werden insbesondere einige Wechselwirkungen zwischen verschiedenen Metallen, ihren Vorläufern und Oxidationsmitteln hervorgehoben. Nach einer Reihe sorgfältiger experimenteller Untersuchungen wurde klarer, warum bestimmte Kombinationen zu unterschiedlichen Strukturen führen