Media type: E-Book Title: Time-resolved characterisation of pulsed magnetron discharges for the deposition of thin films with plasma diagnostic methods Contributor: Welzel, Thomas [Verfasser]; Meichsner, Jürgen [Gutachter]; Vlcek, Jaroslav [Gutachter]; Kersten, Holger [Gutachter] imprint: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz, 2010 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Time ; Thin films ; Dünnschichttechnik ; Langmuir-Sonde ; Massenspektrometrie ; Optische Spektroskopie ; Plasmadiagnostik ; Emissive Probe ; Langmuir Probe ; Magnetron Sputtering ; Magnetronzerstäubung ; Mass Spectrometry ; Optical Spectroscopy ; Plasma Diagnostics ; Pulsed Discharges ; Pulsplasmen ; Thin Film Technology ; emissive Sonde Origination: University thesis: Habilitationsschrift, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2010 Footnote: Access State: Open Access