Media type: E-Book Title: Untersuchungen zu flüssigkeitsbasierten, kapazitiven Neigungswinkelsensoren Contributor: Schwenck, Adrian [Verfasser]; Zimmermann, André [Akademischer Betreuer] imprint: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2022 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.18419/opus-12380 Identifier: Keywords: Beschleunigungssensor ; Kapazitiver Sensor ; MEMS ; Sensortechnik ; Sensor ; Wafer ; Neigungssensor Origination: University thesis: Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2022 Footnote: Access State: Open Access