Media type: E-Book Title: An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering Contributor: Güttler, Dominik [Verfasser] imprint: Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, 2009 Extent: Online-Ressource Language: English DOI: 10.34657/4838 Identifier: Origination: Footnote: In: Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, Volume 515, ISSN 1437-322X Datenlieferant: Renate - Repositorium für Naturwissenschaften und Technik (TIB Hannover) Description: [no abstract available] Access State: Open Access