Media type: E-Book Title: Modeling and simulation of the stationary plasma sheath Contributor: Naggary, Schabnam [Verfasser]; Brinkmann, Ralf Peter [Gutachter]; Mussenbrock, Thomas [Gutachter] Corporation: Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik imprint: Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2023 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Hochfrequenzplasma ; Plasmarandschicht ; Mathematisches Modell ; Plasmadiagnostik ; Niederdruckplasma ; Modellierung ; Simulation ; Schichtdicke ; Entladung Origination: University thesis: Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2022 Footnote: Access State: Open Access