Media type: E-Book; Thesis Title: Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb Contributor: Schroedter, Richard [Verfasser]; Janschek, Klaus [Gutachter]; Schitter, Georg [Gutachter] imprint: Dresden: Vogt Verlag; Dresden: Technische Universität Dresden, 2023 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: RVK notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: MEMS > Spiegelsystem > Scanner > Mikroaktor > Kammantrieb > Positionsgeber > Reglerentwurf > Repetitive control > Systementwurf Origination: University thesis: Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2018 Footnote: Access State: Open Access