Media type: E-Book; Thesis Title: Novel Reactor Design and Method for Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition of Micro and Nano SiO2-x Films in Photovoltaic Applications Contributor: Issa, Esmail [Verfasser]; Rädlein, Edda [Akademischer Betreuer]; Hannappel, Thomas [Gutachter]; Ronning, Carsten [Gutachter] imprint: Ilmenau: TU Ilmenau, 2022 Extent: Online-Ressource, 242 Seiten Language: English Identifier: Keywords: Siliciumdioxid > APCVD-Verfahren > Chemischer Reaktor > Dünnschichtsolarzelle > Herstellung Origination: Footnote: In: Werkstofftechnik aktuell(26) - ISSN 1868-6532 In: Universitätsverlag Ilmenau, Ilmenau Access State: Open Access