Media type: E-Book Title: „Untersuchungen zur erzielbaren Auflösung der achromatischen Talbotlithografie mittels teilkohärenter extrem-ultravioletter Strahlung“ Other titles: „Investigations on the achievable resolution of achromatic Talbot lithography using partially coherent extreme ultraviolet radiation“ Contributor: Lüttgenau, Bernhard Josef [Verfasser]; Holly, Carlo [Akademischer Betreuer]; Lemme, Max Christian [Akademischer Betreuer] imprint: Aachen: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2023 Published in: Aachen : RWTH Aachen University, 2023 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.18154/RWTH-2023-12292 Identifier: Keywords: Extremes Ultraviolett ; Achromat Origination: University thesis: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2023 Footnote: Access State: Open Access