Media type: E-Book Title: Development of industry-scalable processes for nanocrystalline silicon oxide in silicon heterojunction solar cells Contributor: Qiu, Depeng [Verfasser]; Rau, Uwe [Akademischer Betreuer]; Vescan, Andrei [Akademischer Betreuer] imprint: Aachen: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2023 Published in: Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2023 (Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt = Energy & environment; 619) Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Dünne Schicht ; Heterosolarzelle ; PECVD-Verfahren ; Silicium ; Dünnschichtsolarzelle ; Siliciumoxide Origination: University thesis: Dissertation, RWTH Aachen University, 2023 Footnote: Access State: Open Access