Media type: E-Book Title: Interaction of Ion Beam with Si-based Nanostructures Contributor: Xu, Xiaomo [Verfasser]; Faßbender, Jürgen [Gutachter]; Webb, Roger [Gutachter] imprint: Dresden: Technische Universität Dresden, 2024 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: RVK notation: VE 9857 : Dissertationen, Habilitationsschriften, wertvollere und umfangreichere Sonderdrucke Keywords: Ionenimplantation ; Ionenstrahl ; Schweres Ion ; Silicon Nanostructures ; Ion Beam Implantation ; Si nanocrystals Origination: University thesis: Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2024 Footnote: Access State: Open Access