Media type: E-Book; Thesis Title: Aligned ion implantation using scanning probes Contributor: Persaud, Arun [Verfasser] Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Quantencomputer ; Rastersondenmikroskop ; Dotierter Halbleiter ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2007 Footnote: Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2006 Access State: Open Access