Media type: E-Book; Thesis Title: Entwicklung und Optimierung von HF-Mikrofederkontaktelementen zur temporären Kontaktierung von Mikrosystemkomponenten Contributor: Spanier, Gerd [Verfasser] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Kantilever ; Mikrosystemtechnik ; Flip-Chip-Technologie ; Time domain reflectometry ; LIGA-Verfahren ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote: Access State: Open Access