Media type: E-Book; Thesis Title: Lichtstreuende Oberflächen, Schichten und Schichtsysteme zur Verbesserung der Lichteinkopplung in Silizium-Dünnschichtsolarzellen Contributor: Berginski, Michael [Author] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Dünnschichtsolarzelle ; Zinkoxid ; Magnetronsputtern ; Photovoltaik ; Silicium ; Ätzen ; Hochfrequenzsputtern ; Sputtern ; Transparent-leitendes Oxid ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote: Access State: Open Access