DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE,
German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE,
DIN Deutsches Institut für Normung e. V.,
DIN German Institute for Standardization
DIN EN 60204-33*VDE 0113-33
: Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungseinrichtungen für Halbleiter (IEC 60204-33:2009, modifiziert); Deutsche Fassung EN 60204-33:2011
- [2011-11-00]
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Media type:
Standard
Title:
DIN EN 60204-33*VDE 0113-33
:
Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungseinrichtungen für Halbleiter (IEC 60204-33:2009, modifiziert); Deutsche Fassung EN 60204-33:2011
Other titles:
Früher unter dem Titel: DIN IEC 60204-33 (2006-11)
Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified); German version EN 60204-33:2011
Sécurité des machines - Equipement électrique des machines - Partie 33: Exigences pour les équipements de fabrication des semiconducteurs (CEI 60204-33:2009, modifiée); Version allemande EN 60204-33:2011
Footnote:
Internationale Übereinstimmung mit: EN 60204-33 (2011-03), IDT*IEC 60204-33 (2009-12), MOD
Description:
Dieser Teil der DIN EN 60204 (VDE 0113) gilt für die elektrische und elektronische Ausrüstung von Fertigungseinrichtungen für die Herstellung, Messung, Montage und Prüfung von Halbleitern. Dieser Teil gilt für die elektrische Ausrüstung oder Teile der elektrischen Ausrüstung, die mit Nennspannungen bis 1000 V Wechselspannung oder bis 1500 V Gleichspannung und mit Nennfrequenzen bis einschließlich 200 Hz betrieben werden. Für höhere Spannungen und Frequenzen können besondere Anforderungen erforderlich sein.