DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE,
German Commission for Electrical, Electronic and Information Technologies of DIN and VDE,
DIN Deutsches Institut für Normung e. V.,
DIN German Institute for Standardization
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Media type:
Standard
Title:
DIN EN 62047-17
:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015
Other titles:
Früher unter dem Titel: DIN EN 62047-17 (2011-06)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 17: Méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces (IEC 62047-17:2015); Version allemande EN 62047-17:2015
Footnote:
Internationale Übereinstimmung mit: EN 62047-17 (2015-07), IDT*IEC 62047-17 (2015-03), IDT
Description:
Dieses Dokument legt ein Verfahren für die Durchführung von Wölbungsprüfungen (Bulge-/Tiefen-Prüfungen) an einer freistehenden Schicht, die innerhalb eines Fensters gewölbt wird, fest. Die Dünnschicht-Mikroproben werden auf Basis von Mikro/Nano-Schicht-Werkstoffen hergestellt. Die Dicke der Schichten liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm.