• Media type: E-Article
  • Title: Digitaler Gasdosierer im Grobvakuumbereich : Präzise Einstellung von Kalibrierdrücken : Präzise Einstellung von Kalibrierdrücken
  • Contributor: Jitschin, Wolfgang; Reinl, Friedrich
  • Published: Wiley, 2012
  • Published in: Vakuum in Forschung und Praxis, 24 (2012) 1, Seite 16-20
  • Language: English
  • DOI: 10.1002/vipr.201200480
  • ISSN: 1522-2454; 0947-076X
  • Keywords: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics
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  • Description: AbstractVakuummessgeräte werden kalibriert, indem man das zu kalibrierende Gerät mit einem Referenzgerät vergleicht. Beide Geräte sind an einem Rezipienten montiert. Nacheinander werden verschiedene Gasdrücke erzeugt und bei jedem Druck werden die Anzeigen der beiden Geräte notiert. Im Grobvakuumbereich erfolgt üblicherweise die Druckerzeugung durch sukzessive Zugabe von Gas in den Rezipienten mittels eines manuell bedienten Dosierventils. Die Druckeinstellung kostet erhebliche Zeit und beansprucht die Hand des Bedieners erheblich. Es wurde daher ein digitaler Gasdosierer mit elektromagnetischen Ventilen entwickelt, der eine schnellere und genauere Druckeinstellung als das analoge Dosierventil erlaubt und zudem die Hand des Bedieners schont. Der Gasdosierer und sein Einsatz werden beschrieben.