Description:
<jats:title>Abstract</jats:title><jats:p>Für die Betriebskontrolle und die Automatisierung von Vakuumanlagen werden Vakuummeter und Druckwächter benötigt, die besonderen Bedingungen genügen müssen. Es wird eine Übersicht über geeignete Geräte gegeben und die Funktionsweise einiger erst in den letzten Jahren bekannt gewordener Instrumente kurz beschrieben. An Beispielen wird ferner die Störungssicherung, die Automatisierung und die Programmsteuerung besonders von Hochvakuumanlagen diskutiert. Zuletzt werden die Möglichkeiten einer druckabhängigen Regelung im Vakuumbereich besprochen.</jats:p>