Brinkmann, S.;
Dresel, T.;
Schreiner, R.;
Schwider, J.
Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte II:Experimente und Fehlerdiskussion (Grazing Incidence Interferometry Using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects II: Experiments and Error Assessment)
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Media type:
E-Article
Title:
Streifende-Inzidenz-Interferometrie mit diffraktiven Elementen für die Formmessung von Mantelflächen stabförmiger Objekte II:Experimente und Fehlerdiskussion (Grazing Incidence Interferometry Using Diffractive Optical Elements for the Shape Measurement of the Mantle Surface of Rod-shaped Objects II: Experiments and Error Assessment)
Contributor:
Brinkmann, S.;
Dresel, T.;
Schreiner, R.;
Schwider, J.
Description:
<jats:p>Dies ist Teil II des zweiteiligen Artikels (Teil I: siehe tm 1/2000) über die Streifende-Inzidenz-Interferometrie. Hier werden die Auswertemethoden, Messbeispiele für technische Objekte, wie (1) Ebene, (2) Zylinder und (3) mathematisch konvexe Objekte und (4) allgemeine Meridiankurven von Stäben, die auftretenden systematischen Fehler aufgrund des Prinzips aber auch aufgrund der Herstellgenauigkeit lithographischer Maschinen und schließlich auch noch Erweiterungen in den mittleren IR-Bereich diskutiert. Um die Übersicht zu erleichtern, sind die Kapitel fortlaufend nummeriert, beginnend mit Kapitel 9.
</jats:p>