> Details

Schmitt, Robert; Koerfer, Friedel; Sawodny, Oliver; Zimmermann, Jan; Krüger-Sehm, Rolf; Xu, Min; Dziomba, Thorsten; Koenders, Ludger; Goch, Gert; Tausendfreund, Andreas; Patzelt, Stefan; Simon, Sven; Rockstroh, Lars; Bellon, Carsten; Staude, Andreas; Woias, Peter; Goldschmidtböing, Frank; Rabold, Martin

Virtuelle Messgeräte: Definition und Stand der Entwicklung (Virtual Measuring Instruments: Definition and Development Status)

Reference
management

Bookmarks

Remove from
bookmarks

Share this on Whatsapp

Close

Bookmarks



You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this.
  • Media type: E-Article
  • Title: Virtuelle Messgeräte: Definition und Stand der Entwicklung (Virtual Measuring Instruments: Definition and Development Status)
  • Contributor: Schmitt, Robert; Koerfer, Friedel; Sawodny, Oliver; Zimmermann, Jan; Krüger-Sehm, Rolf; Xu, Min; Dziomba, Thorsten; Koenders, Ludger; Goch, Gert; Tausendfreund, Andreas; Patzelt, Stefan; Simon, Sven; Rockstroh, Lars; Bellon, Carsten; Staude, Andreas; Woias, Peter; Goldschmidtböing, Frank; Rabold, Martin
  • Published: Walter de Gruyter GmbH, 2008
  • Published in: teme, 75 (2008) 5, Seite 298-310
  • Language: English
  • DOI: 10.1524/teme.2008.0872
  • ISSN: 2196-7113; 0171-8096
  • Keywords: Electrical and Electronic Engineering ; Instrumentation
  • Origination:
  • Footnote:
  • Description: Die Mikro- und Nanotechnologie gehört zu den Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts mit hohen Wachstumsprognosen, wie auch die im Auftrag des BMBF durchgeführte Studie “Nanotechnologie als wirtschaftlicher Wachstumsmarkt” von 2004 ausführlich darstellt. Aus diesem Trend resultiert ein steigender Bedarf an Messsystemen, die Nanostrukturen prozessnah bzw. im Fertigungsprozess charakterisieren können. Virtuelle Messgeräte liefern Erkenntnisse zur Entwicklung neuartiger Messsysteme, Analyse und Optimierung bestehender Verfahren sowie die Bestimmung der Messunsicherheit und modellbasierten Korrektur systematischer Fehler. Der virtuelle Messprozess umfasst neben dem Messmittel auch die Probe und die Wechselwirkungen zwischen beiden. In diesem Beitrag werden virtuelle Messgeräte vorgestellt sowie deren Anwendung diskutiert.