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Medientyp: Buch Titel: Plasma etching : an introduction Beteiligte: Manos, Dennis M. [Hrsg.]; Flamm, Daniel L. [Hrsg.] Erschienen: Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Erschienen in: Plasma ; materials interactions Umfang: XII, 476 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 0124693709 RVK-Notation: UP 7990 : Sonstiges zur Physik dünner Schichten und Grenzflächen, z.B. Adhäsion, Diffusion Schlagwörter: Plasmaätzen Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0992 01472 001 Barcode: 31298617 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.