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Medientyp: Buch Titel: Ionenimplantation ; mit 50 Tab Enthält: Literaturverz. S. 344 - 360 Beteiligte: Ryssel, Heiner [VerfasserIn]; Ruge, Ingolf [VerfasserIn] Erschienen: Stuttgart: Teubner, 1978 Ausgabe: 1. Aufl. Umfang: 366 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3519032066 RVK-Notation: UP 3000 : Ionenimplantation in Halbleitern UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Schlagwörter: Ionenimplantation Halbleitertechnologie Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 345 - 360. - Auf d. Rücken: Ryssel-Ruge
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 0579 00127 001 Barcode: 30714181 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.