• Medientyp: Buch
  • Titel: Impurity doping processes in silicon
  • Beteiligte: Wang, Franklin F. Y. [Herausgeber:in]
  • Erschienen: Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1981
  • Erschienen in: Materials processing, theory and practices ; 2
  • Umfang: 643 S; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Englisch
  • ISBN: 0444860959
  • Schlagwörter: Dotierung > Silicium
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: