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Medientyp: Buch Titel: Impurity doping processes in silicon Beteiligte: Wang, Franklin F. Y. [Herausgeber:in] Erschienen: Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1981 Erschienen in: Materials processing, theory and practices ; 2 Umfang: 643 S; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0444860959 Schlagwörter: Dotierung > Silicium Entstehung: Anmerkungen: