Einführende Beiträge zur Mikrolithografie: Tagungsband der Frühjahrsschule

Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"
Weitere Titel: Abweichender Titel: Einführende Beiträge zur Mikrolithografie
Körperschaft: Friedrich-Schiller-Universität Jena, Arbeitsgemeinschaft Technikum
Veranstaltung: Frühjahrsschule Elektronenlithografie
Erschienen: Jena: Abt. Wiss. Publ. d. Friedrich-Schiller-Univ., 1982
Erschienen in: Friedrich-Schiller-Universität Jena: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena ; 1982,einf
Umfang: 232 S; Ill., graph. Darst
Sprache: Deutsch
RVK-Notation: UX 2150 : Elektronische Bauelemente
Schlagwörter: Lithography, electron beam Congresses ; Microelectronics Congresses ; Electron beams Industrial applications Congresses ; Konferenzschrift
Entstehung:
Anmerkungen: Literaturangaben
Weitere Bestandsnachweise
0 : Friedrich-Schiller-Universität Jena: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena

Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"