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Medientyp: E-Book; Konferenzbericht Titel: Micro-Optics and MOEMS : 22-24 May 2018, Beijing, China Beteiligte: Wang, Yuelin [HerausgeberIn]; Xie, Huikai [HerausgeberIn] Körperschaft: Zhong guo guang xue gong cheng xue hui ; Zhongguo-Yuhang-Xuehui, Guangdian-Jishu-Zhuanye-Weiyuanhui ; SPIE Erschienen: Bellingham, Washington, USA: SPIE, [2018] Erschienen in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 10848 Umfang: 1 Online-Ressource; Illustrationen Sprache: Englisch ISBN: 9781510623392 Schlagwörter: MEMS > Mikrooptik Entstehung: Anmerkungen: Teilkonferenz des International Symposium on Optoelectronic Technology and Application (OTA 2018) Literaturangaben