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Poll, Hans-Ullrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente

Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

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Medientyp: Buch
Titel: Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung
Beteiligte: Poll, Hans-Ullrich [Mitarb.]
Körperschaft: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente ; Technische Universität Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente
Erschienen: Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985
Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4
Umfang: II, 73 S.; graph. Darst
Sprache: Deutsch
RVK-Notation: UP 7990 : Sonstiges zur Physik dünner Schichten und Grenzflächen, z.B. Adhäsion, Diffusion
Schlagwörter: Beschichten > Plasmaätzen
Entstehung:
Anmerkungen: Literaturverz. S. 68 - 73
Weitere Bestandsnachweise
0 : Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt

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