• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit großer Strukturhöhe aus elektrisch isolierenden und leitfähigen Kunststoffen
  • Beteiligte: Harmening, Michael [Verfasser:in]
  • Erschienen: 1989
  • Umfang: 112 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • Schlagwörter: LIGA-Verfahren
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Karlsruhe, Univ., Diss., 1989
  • Anmerkungen: Auch als: Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4711

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  • Signatur: R2023 4 86
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