Mathad, G. S.
[HerausgeberIn];
Schwartz, G. C.
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Gottscho, R. A.
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
;
Symposium on Plasma Processing 6 1987 San Diego, Calif
Proceedings of the Sixth Symposium on Plasma Processing
: [held in San Diego, Ca., from Oct. 19 - 24, 1986]