> Mehrbändiges Werk
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2:
Halbleitertechnologie 2 Dotierung, Maskierung, Montage Klaus Schade
Berlin: Verlag Technik, 1983
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1:
Halbleitertechnologie 1 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung Klaus Schade
Berlin: Verlag Technik, 1981