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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten Beteiligte: Guggenberger, Michael A. [VerfasserIn] Erschienen: 1996 Umfang: V, 100 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: VN 6027 : Dissertationen, Habilitationsschriften, wertvollere und umfangreichere Sonderdrucke Schlagwörter: Siliciumnitrid > CVD-Verfahren > Reaktionskinetik Entstehung: Hochschulschrift: Karlsruhe, Univ., Diss., 1996 Anmerkungen: