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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Elektrische Charakterisierungen und Zuverlässigkeitsuntersuchungen sehr dünner Oxid-/Nitrid-Dielektrika Beteiligte: Yuwono, Budy [Verfasser:in] Erschienen: 2001 Umfang: 106 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 7750 : Leitfähigkeit dünner Schichten Schlagwörter: Dielektrikum > Oxide > Nitride > Dünne Schicht > Elektrische Eigenschaft > Zuverlässigkeit Entstehung: Hochschulschrift: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2000 Anmerkungen: