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Valiev, Kamilʹ A. [VerfasserIn] ; Rakov, Aleksandr V. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike

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Medientyp: Buch
Titel: Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike
Beteiligte: Valiev, Kamilʹ A. [VerfasserIn]; Rakov, Aleksandr V. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Erschienen: Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984
Umfang: 349 S
Sprache: Russisch
RVK-Notation: UP 9300 : Stoßprozesse von Elektronen, Ionen oder Molekülen an Festkörpern, Sekundärionenemissionsspektroskopie
Schlagwörter: Mikroelektronik > Ionenstrahlätzen > Ionenstrahlbearbeitung > Lithografie
Entstehung:
Anmerkungen: In kyrill. Schr., russ
In kyrill. Schr

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