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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Elektroneninduzierte Oxidation von dünnen Schichten aus amorphem Kohlenstoff : eine neue Lithographiemethode und ihre Anwendungen Beteiligte: Mühl, Thomas [Verfasser:in] Erschienen: 2001 Umfang: 78 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 7580 : Amorphe Schichten, einschl. Amorphe Halbleiterschichten Schlagwörter: Lithografie > Nanostrukturiertes Material > Rastersondenmikroskop > Kohlenstoff > Dünne Schicht > Amorpher Zustand Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Freihand Signatur: UP 7580 M945 Barcode: 30635454 Status: Benutzung nur im Haus, Versand per Fernleihe möglich