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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Gefügeeinfluß auf das Elektromigationsverhalten von Kupferleitbahnen für höchstintegrierte Schaltungen Beteiligte: Kötter, Thomas [Verfasser:in] Erschienen: 2002 Umfang: III, 132 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 5000 : Elektrische Leitfähigkeit im Festkörperbereich Schlagwörter: Elektromigration > Leiterbahn > Kupfer > Gefüge > Korngröße > Metallisieren Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2002 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Freihand Signatur: UP 5000 K78 Barcode: 30905508 Status: Benutzung nur im Haus, Versand per Fernleihe möglich