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Medientyp: Buch Titel: Microlithography Beigefügtes Werk: Molecular imprinting, with contrib. by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak Beteiligte: Ito, Hiroshi [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Marty, Jean D. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mauzac, Monique [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2005 Erschienen in: Advances in polymer science ; 172 Umfang: VI, 276 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 3540218629 RVK-Notation: VE 8000 : Allgemeines Schlagwörter: Lithografie > Photoresist Molekulares Prägen Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Advances in polymer science
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