Reichl, Herbert
[HerausgeberIn]
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AMK Berlin, Ausstellungs-, Messe-, Kongress-GmbH,
International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanic Systems and Components 3 1992 Berlin
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Medientyp:
Buch;
Konferenzbericht
Titel:
Micro system technologies 92
:
3rd International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 21 - 23, 1992