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Medientyp: Buch Titel: Plasma deposition, treatment, and etching of polymers Enthält: Includes index Beteiligte: D'Agostino, Riccardo [Hrsg.] Erschienen: Boston; London: Academic Press, c1990 Erschienen in: Plasma--materials interactions Umfang: XIII, 528 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 0123960444; 0122004302 Schlagwörter: Polymere > Plasmaätzen Polymere > Plasmatechnik Polymere > Plasmaätzen > Plasmatechnik > Plasmapolymerisation Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben