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Medientyp: Buch Titel: Metallization : theory and practice for VLSI and ULSI Beteiligte: Murarka, Shyam P. [VerfasserIn] Erschienen: Boston [u.a.]: Butterworth-Heinemann, 1993 Umfang: VI, 250 S; Ill., graph. Darst; 26 cm Sprache: Englisch ISBN: 0750690011 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: ULSI > VLSI > Metallisieren Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben