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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Nachgewiesen in: Sächsische Bibliografie Titel: Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb Beteiligte: Heinz, Steffen [Verfasser:in] Erschienen: 2006 Umfang: 176 S.; Abb., graph. Darst., Tab Sprache: Deutsch Schlagwörter: Mikroaktor > Ansteuerung > Leistungselektronik > System-in-Package SOI-Technik > Pulsmodulation Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006 Anmerkungen: