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Medientyp: Buch Titel: Micro process engineering / hrsg. Volker Hessel 2, Devices, reactions and applications Erschienen: Weinheim, Bergstr: WILEY-VCH, 2009 Erschienen in: Micro process engineering / hrsg. Volker Hessel ... ; 2 Umfang: XXII, 515 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik VN 7300 : Allgemeines Entstehung: Anmerkungen: